000 00282nam a2200109Ia 4500
008 230921s9999||||xx |||||||||||||| ||und||
041 _aeng
100 _aWiederrecht, Gary
_913147
245 0 _aHandbook of nanofabrication
_cWiederrecht, Gary
260 _bElsevier
_c2010
942 _cBK
999 _c21597
_d21597