000 00286nam a2200121Ia 4500
008 231023s9999||||xx |||||||||||||| ||und||
041 _aeng
082 _a621.381
_bT10 LUC
100 _aLucyszyn, Stepan
_914879
245 0 _aAdvanced RF MEMS
260 _bCambridge
_c2010
942 _cBK
999 _c25674
_d25674