000 | 00349nam a2200133Ia 4500 | ||
---|---|---|---|
008 | 231023s9999||||xx |||||||||||||| ||und|| | ||
020 | _a9781441960177 | ||
041 | _aeng | ||
082 |
_a621.381 _bT11 HAR S |
||
100 |
_aHartzell, Allysn L., Silva, Mark G. Da and Others _915064 |
||
245 | 0 | _aMEMS reliability | |
260 |
_bSpringer _c2011 |
||
942 | _cBK | ||
999 |
_c26016 _d26016 |